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為了提高超薄銅管退火石墨載具的整體強(qiáng)韌性

作者:jcshimo 發(fā)布時間:2021-08-27 14:34:50


超薄銅管退火石墨載具滲碳是為了提高超薄銅管退火石墨載具的整體強(qiáng)韌性,即超薄銅管退火石墨載具的工作表面具有高的強(qiáng)度和耐磨性。硬化膜沉積技術(shù)目前較成熟的是CVD、PVD。

超薄銅管退火石墨載具自上個世紀(jì)80年代開始采用涂覆硬化膜技術(shù)。

目前的技術(shù)條件下,硬化膜沉積技術(shù)(主要是設(shè)備)的成本較高,仍然只在一些精密、長壽命超薄銅管退火石墨載具上應(yīng)用,如果采用建立熱處理中心的方式,則涂覆硬化膜的成本會大大降低,更多的超薄銅管退火石墨載具如果采用這一技術(shù),可以整體提高我國的超薄銅管退火石墨載具制造水平。

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